規(guī)格
CV-2100M4 | CV-2100N4 | ||||
測量范圍 | X軸 | 100mm | |||
Z1軸（檢出器） | 50mm | ||||
上下移動量（Z軸立柱） | 350mm | —— | |||
X軸傾角范圍 | ±45° | ||||
分辨力 | X軸 | 0.1μm | |||
Z1軸 | 0.1μm | ||||
驅動方式 | X軸 | 電動（0-20mm/s） | |||
上下移動 （Z軸立柱） | 手動（快速上下動，微動） | —— | |||
測量速度 | 0.02-5mm/s | ||||
直線精度（X軸水平位置時） | 2.5μm/100mm | ||||
指示精度（20℃） | X軸 | ±（2.5+0.02L）μm，L：測量長度（mm） | |||
Z1軸 | ±（2.5+（0.1H））μmH=水平位置上的測量高度±25mm以內 | ||||
測量方向 | 向前/向后 | ||||
測量面方向 | 向下 | ||||
測力 | 30±10mN(3gf) | ||||
測針跟蹤角度（以標準配件測針為例） | 向上77°，向下87°（根據表面粗糙度而定） | ||||
尺寸（幅度*深度*高度） | 745*450*885mm | 651*143*138.5mm | |||
重量 | 145.8kg | 5.8kg | |||
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